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Was sind die Wasseraufbereitungsanlagen in elektronischen Halbleitern?

24 Jul, 2024 4:33pm

 

Warum benötigt die elektronische Halbleiterindustrie eine Wasseraufbereitungsanlage?

 

Der Produktionsprozess elektronischer Halbleiterprodukte stellt hohe Anforderungen an die Wasserqualität. Die Herstellung von Halbleitermaterialien erfordert präzise chemische Reaktionen und physikalische Prozesse. Verunreinigungen, Ionen, Mikroorganismen usw. im Wasser können zu einer Verschmutzung der Produkte führen und die Leistung, Stabilität und Zuverlässigkeit der Produkte beeinträchtigen. Daher sind Wasseraufbereitungsanlagen erforderlich, um verschiedene Verunreinigungen im Wasser zu entfernen und die Reinheit des Produktionswassers sicherzustellen.

 

In der elektronischen Halbleiterindustrie beispielsweise entfernen WTEYA-Reinstwassergeräte durch eine Reihe von Hochreinigungsvorgängen effektiv verschiedene Verunreinigungen, Ionen und Mikroorganismen im Wasser-Präzision und hohe-Tech-Aufbereitungsprozesse wie vorläufige Adsorptionsfiltration, Umkehrosmose-Reinigung und Harzionenaustausch sorgen für die Produktion von Reinstwasser mit extrem hohem spezifischem Widerstand. Dieses hochreine Wasser wird häufig in wichtigen Prozessbereichen wie Reinigen, Ätzen, Filmherstellung und Dotieren in der Halbleiterfertigung verwendet und ist ein Schlüsselfaktor für die Gewährleistung der Leistung und Qualität von Halbleiterprodukten.

 

Filter

 

Welche Wasseraufbereitungsanlage wird in der elektronischen Halbleiterindustrie eingesetzt?

 

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1. Multi-Medien/Aktivkohle-Filtersystem:

 

Multi-Medienfilter werden üblicherweise als Anfangsstufe der Wasseraufbereitung eingesetzt. Durch die Kombination verschiedener Medien können sie Verunreinigungen wie Schwebstoffe, Kolloide und Partikel im Wasser effektiv entfernen und so eine relativ saubere Wasserquelle fürnachfolgende Aufbereitungsprozesse bereitstellen.

 

Aktivkohlefilter werden hauptsächlich zur Entfernung organischer Stoffe, Gerüche, Pigmente und anderer Verunreinigungen im Wasser verwendet. Aktivkohle verfügt über ein starkes Adsorptionsvermögen und kann diese Schadstoffe im Wasser adsorbieren und entfernen, wodurch die Reinheit der Wasserqualität weiter verbessert wird.

 

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2. Ultrafiltrationssystem:

 

Erstens kann die Ultrafiltrationsmembran im Reinigungsprozess Partikel und Ionen im Wasser als Vorbehandlungsprozess für Hochwasser wirksam entfernen-hochwertige Reinstwassersysteme. Dieses hochreine Wasser wird zur Reinigung von Halbleitergeräten und -geräten verwendet, um die Sauberkeit der Produktoberfläche sicherzustellen und den Einfluss von Schadstoffen auf die Produktleistung und -zuverlässigkeit zu vermeiden.

 

Zweitens wird die Ultrafiltrationstechnologie auch häufig bei der Aufbereitung von Prozessflüssigkeiten eingesetzt. Im Halbleiterherstellungsprozess sind verschiedene Prozessflüssigkeiten erforderlich, wie Säuren, Laugen, organische Lösungsmittel usw. WTEYA-Ultrafiltrationsmembranen können diese Flüssigkeiten filtern und reinigen, Verunreinigungen und Partikel entfernen und sicherstellen, dass die Reinheit und Qualität der Flüssigkeiten der Produktion entsprechen Anforderungen.

 

Darüber hinaus spielt die Ultrafiltrationstechnik auch bei der Kühlwasserzirkulation der Anlagen eine wichtige Rolle. Halbleiterfertigungsanlagen erzeugen im Betrieb viel Wärme und zur Wärmeableitung ist Kühlwasser erforderlich. Ultrafiltrationsmembranen können Partikel und Ionen im Kühlwasser entfernen, verhindern, dass Verunreinigungen die Ausrüstung beschädigen, und dennormalen Betrieb der Ausrüstung und die Stabilität des Produkts gewährleisten.

 

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3. Umkehrosmose-Membransystem:

 

Umkehrosmosemembranen werden hauptsächlich in den Prozessschritten der Reinstwasseraufbereitung in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Bei der Herstellung elektronischer Halbleiter wird hochreines Wasser häufig zur Reinigung von Schlüsselkomponenten wie Siliziumwafern und -chips verwendet, wodurch Oberflächenpartikel und organische Stoffe effektiv entfernt und die Fehlerquote bei Produkten gesenkt werden können. Umkehrosmosemembranen können eine stabile,niedrige Temperatur liefern-spannungsentionisiertes Wasser, um den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie an die Wasserqualität gerecht zu werden.

 

Darüber hinaus kann auch die Umkehrosmose-Membrantechnologie hohe Ergebnisse liefern-Hochwertiges Reinigungswasser, um die Zuverlässigkeit und Stabilität der Komponenten zu gewährleisten. Durch die Nutzung der Eigenschaften von Umkehrosmosemembranen kann eine präzise Kontrolle der Wasserqualität erreicht werden, um die strengen Anforderungen an Reinstwasser im Prozess der Herstellung elektronischer Halbleiter zu erfüllen.

 

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4. EDI-System:

 

Das EDI-System, also das Elektroentionisierungssystem, wird in der Halbleiterindustrie häufig eingesetzt. Es wird hauptsächlich in den Prozessschritten der Reinstwasseraufbereitung eingesetzt.

 

Im Halbleiterfertigungsprozess wird Reinstwasser in mehreren wichtigen Prozessschritten verwendet, beispielsweise zur Reinigung von Schlüsselkomponenten wie Siliziumwafern und -chips und als Grundlage für die Herstellung anderer Prozessflüssigkeiten. Das EDI-System kann durch die Ionenaustauschmembrantechnologie und die Ionenelektromigrationstechnologie effektiv Ionen und andere Verunreinigungen im Wasser entfernen und so eine hohe Wasserqualität herstellen-Reinheit, hochreines Wasser.

 

Insbesondere kann das EDI-System Ionen im Wasser entfernen, beispielsweise Metallionen wie Natrium, Kalzium und Magnesium, sowie Anionen wie Chlor und Sulfat, sodass die Leitfähigkeit des Wassers extremniedrig ist und die hohen Anforderungen an die Wasserqualität erfüllt werden der Halbleiterherstellungsprozess. Gleichzeitig kann das EDI-System aufgrund seiner effizienten Ionenentfernungsfähigkeit auch die Regenerationshäufigkeit und den Chemikalienverbrauch reduzieren, die beim herkömmlichen Ionenaustauschprozess erforderlich sind, wodurch die Betriebskosten und die Umweltbelastung gesenkt werden.

 

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5. Poliermischbettsystem:

 

Poliermischbetten werden hauptsächlich in der Halbleiterindustrie für den Aufbereitungsprozess von Reinstwasser eingesetzt.

Spänewaschen: Bei der Herstellung von Spänen chemisch/Es werden physikalische Ausfällungen, Korrosion, Einbrennen und andere Prozesse durchgeführt, die verschiedene Verunreinigungen erzeugen. Um diese Verunreinigungen zu entfernen und die Chipleistung sicherzustellen, wird zum Waschen hochreines Wasser benötigt.

 

Vorbereitung von Halbleitermaterialien: Reinstwasser kann Verunreinigungen auf der Oberfläche von Halbleitermaterialien entfernen und die Reinheitsanforderungen von Halbleitermaterialien gewährleisten, wodurch die Leistung und Zuverlässigkeit von Halbleiterchips effektiv verbessert wird.

 

In diesen Prozessschritten wird Reinstwasser zur Reinigung von Halbleiterbauelementen und -geräten verwendet, um die Sauberkeit der Produktoberfläche sicherzustellen und den Einfluss von Schadstoffen auf die Produktleistung und -zuverlässigkeit zu vermeiden. Das Poliermischbettsystem kann Ionen und organische Stoffe im Wasser effektiv entfernen, um sicherzustellen, dass die Wasserqualität den hohen Standards der Halbleiterindustrie entspricht.

 

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WTEYA ist eine Eins-Stoppen Sie den schlüsselfertigen Dienstleister für elektronische Halbleiter-Wasseraufbereitungslösungen. Angesichts der Wasserqualitätseigenschaften der elektronischen Halbleiterindustrie erreicht das Wasseraufbereitungssystem durch eine Kombination von Filtersystemen eine effiziente Aufbereitung und Wiederverwendung von Wasserressourcen + fortschrittliches spezielles Membrantrennsystem + EDI-System + Poliermischbettsystem, das Unternehmen dabei hilft, die wirtschaftlichen Vorteile des Ressourcenrecyclings zu verbessern.